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精密光學(xué)平臺品質(zhì)鑒定方法

更新時間:2021-08-23      點(diǎn)擊次數(shù):1319
  實(shí)驗(yàn)室在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)或測量時,環(huán)境振動源的影響很容易成為一個問題。一些實(shí)驗(yàn)可能由于輕微振動的影響而無法進(jìn)行。例如,許多激光應(yīng)用需要幾微米的光束腰;如果光斑的位置對系統(tǒng)性能十分關(guān)鍵,那么幾微米振幅的振動也會造成實(shí)驗(yàn)的失敗。
  由于可見光的波長為次微米級,在振動存在的情況下,即使是次微米的振幅,也會造成基于干涉測量的實(shí)驗(yàn)(包括全息攝影術(shù))無法進(jìn)行。半導(dǎo)體晶片的光學(xué)/機(jī)械加工或探測都要求類似的穩(wěn)定性。除了外部振動源的影響以外,如果實(shí)驗(yàn)用到位移或振動部件,也常常需要把這些元件和其他振動敏感的部件進(jìn)行隔離。
  精密光學(xué)平臺就是為了解決這一問題產(chǎn)生的,它采用主動或被動的隔振措施隔離振動,提供水平、穩(wěn)定的臺面。保證實(shí)驗(yàn)或測量不受振動因素。產(chǎn)品特性:
  ●大型光學(xué)隔振平臺,外框采用剛性強(qiáng)、變形小、焊接性能好的優(yōu)質(zhì)中碳鋼板;
  ●隔振層利用固有頻率低、阻振性能強(qiáng)的蜂窩結(jié)構(gòu)材料,能較大限度控制振動的響應(yīng);
  ●面板采用高導(dǎo)磁不銹鋼板,精磨后具有實(shí)用、美觀和耐磨等特點(diǎn);
  ●隔振支架采用復(fù)合材料,固體阻尼隔振,結(jié)構(gòu)穩(wěn)固可靠,適用于環(huán)境震動良好的實(shí)驗(yàn)場所。
  精密光學(xué)平臺品質(zhì)鑒定:
  1、檢查外觀
  光學(xué)平臺外觀應(yīng)平整美觀,各部位都應(yīng)無影響安全的銳角及銳邊,更重要的是檢查孔口倒角是否均勻一致(螺孔旋入后應(yīng)垂直平臺面),四邊及其倒角是否平直一致。如果加工精度不好,會出現(xiàn)孔口倒角大小不一致或臺面四周倒角不平滑的情況。
  2、固有頻率(≤2Hz)
  固有頻率也稱自然頻率、自振頻率,只有在環(huán)境擾動力頻率(f)與光學(xué)平臺的固有頻率(fo)的比值f/fo>2時系統(tǒng)才有隔振作用。所以光學(xué)平臺的固有頻率越低,隔振效果效果就越好。該指標(biāo)的檢測一般采用振動頻譜分析儀及便攜式振動分析儀來進(jìn)行多點(diǎn)測量,如供應(yīng)商不具備儀器測量,也可用以下方法:
  用手用力壓下(或側(cè)推)平臺,然后迅速松開,讓其大幅度上下振動(或左右、前后擺動)起來;如一秒鐘內(nèi)往復(fù)一次即為1Hz,二次即為2Hz,依此類推。須可粗略測得光學(xué)平臺的固有頻率。
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